真空泵USW-20 satovac
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日本的真空度标准(一标准)是工业技术研究所安装的光波干涉型标准气压计(大气压~102Pa,不确定度±0.7Pa),电子技术研究所安装的标准McLeod表压(1.3 到 1.3 x 10-2 Pa,不确定度 ± 2)是标准。日本真空协会要求的亚标电离真空计球VS-1已用标准麦克劳德气压计进行校准,此校准后的真空计为二标准(工作压力范围2.7×10-1)。~ 1.3×10-4Pa,不确定度±3)是可以使用的可靠真空计。通常,这用作标准并用于其他实用真空计的校准。校准方在 J-Z8750 中有详细说明,制造商出使用 VS-1 校准的 B-A 真空计,适用于 10-2Pa 至 10-7Pa 的应用。如果这样校准灵敏度,实际使用的每个真空计的灵敏度都会与国一标准挂钩。当建立这样的系统时,评估建立了可追溯。
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